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此項(xiàng)計(jì)劃旨在于推進(jìn)運(yùn)動(dòng)傳感器市場(chǎng)開(kāi)發(fā)新應(yīng)用

       中國(guó)，2013年3月27日 —— 意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics，簡(jiǎn)稱ST；紐約證券交易所代碼：STM）宣布即日起通過(guò)IC中介服務(wù)公司CMP（Circuits Multi Projets®）為研發(fā)組織提供意法半導(dǎo)體THELMA MEMS制程，大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和設(shè)計(jì)企業(yè)可運(yùn)用該制程試制樣片。意法半導(dǎo)體運(yùn)用這項(xiàng)制程研制并銷售了數(shù)十億顆市場(chǎng)領(lǐng)先的加速度計(jì)和陀螺儀[1]?，F(xiàn)在意法半導(dǎo)體以試制和代工的形式向第三方提供這項(xiàng)制程，旨在于推動(dòng)運(yùn)動(dòng)感應(yīng)應(yīng)用在消費(fèi)電子、汽車電子、工業(yè)及醫(yī)療保健市場(chǎng)取得新的發(fā)展。

       意法半導(dǎo)體在MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器領(lǐng)域的長(zhǎng)期成功歸功于其研發(fā)的市場(chǎng)領(lǐng)先的制程。0.8微米表面微加工THELMA（用于制造微陀螺儀和加速度計(jì)的厚外延層）制程通過(guò)整合薄厚不一的多晶硅層來(lái)制造器件的結(jié)構(gòu)和互連部件，實(shí)現(xiàn)單片集成線性運(yùn)動(dòng)和角速度機(jī)械檢測(cè)單元，為客戶帶來(lái)成本效益和尺寸優(yōu)勢(shì)。

CMP的多項(xiàng)目晶圓加工服務(wù)幫助設(shè)計(jì)企業(yè)獲得少量的通常是數(shù)十個(gè)至數(shù)千個(gè)采用量產(chǎn)制程制造的先進(jìn)芯片?，F(xiàn)在，THELMA設(shè)計(jì)規(guī)則和設(shè)計(jì)工具可供大學(xué)和微電子企業(yè)使用，首批申請(qǐng)正在批復(fù)中。

意法半導(dǎo)體（ST）通過(guò)CMP提供先進(jìn)MEMS制程試制樣片

       CMP的服務(wù)目錄增加意法半導(dǎo)體MEMS制程基于雙方合作取得的成功，此前，意法半導(dǎo)體與CMP的合作項(xiàng)目為大學(xué)和設(shè)計(jì)企業(yè)提供多項(xiàng)制程，從2003年推出的130納米CMOS，到2012年底發(fā)布的28納米FD-SOI技術(shù)，這些技術(shù)讓設(shè)計(jì)公司可高效地設(shè)計(jì)出兼具高性能與低功耗的下一代移動(dòng)器件。

       意法半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁兼模擬產(chǎn)品、MEMS和傳感器產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示：“我們提供的業(yè)界領(lǐng)先的MEMS制程以及包括具有突破性的FD-SOI在內(nèi)的CMOS技術(shù)的小批量芯片制造服務(wù)，結(jié)合CMP的先進(jìn)服務(wù)能力，為想要設(shè)計(jì)智能傳感器系統(tǒng)的中小企業(yè)和研發(fā)實(shí)驗(yàn)室提供了一條能夠使用最先進(jìn)的半導(dǎo)體技術(shù)試制芯片的途徑，這是前所未有的。在掌握了最先進(jìn)的制程后，研發(fā)者可集中精力研發(fā)新產(chǎn)品，而不必在研發(fā)制程上耗費(fèi)大量的時(shí)間和資源?！?

       CMP總監(jiān)Bernard Courtois表示：“預(yù)計(jì)MEMS市場(chǎng)將會(huì)迎來(lái)巨大發(fā)展，我們?cè)缭?995年就開(kāi)始提供MEMS技術(shù)加工服務(wù)，成為全球第一家提供MEMS技術(shù)的芯片中介服務(wù)商。今天，CMP正在將與意法半導(dǎo)體的成功合作項(xiàng)目擴(kuò)展至THELMA制程，從一個(gè)制造商獲得CMOS和MEMS兩項(xiàng)技術(shù)。超越慣性傳感器、壓力傳感器、麥克風(fēng)、電子羅盤(pán)等領(lǐng)域，意法半導(dǎo)體與CMP的合作伙伴關(guān)系將讓CMP的客戶針對(duì)越來(lái)越多的社會(huì)需求，投向復(fù)雜的被視為物聯(lián)網(wǎng)重要組成部分的嵌入式系統(tǒng)設(shè)計(jì)。”

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[1] 根據(jù)Yole Development研究報(bào)告顯示，意法半導(dǎo)體是全球第一大MEMS產(chǎn)品制造商，MEM器件累計(jì)出貨量逾30億顆，日產(chǎn)量達(dá)到400萬(wàn)片，是第一家MEMS銷售額達(dá)到10億美元的半導(dǎo)體廠商。